2001-2005 [2004.12.24] STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light Point Defects(LPDs)에 미치는 영향 (Effects of Large Particles and Filter Size in Central Chemical Supplying (CCS) System for STI-CMP on Light Point Defects (LPDs))
2019.05.02 18:17
이명윤, 강현구, 박진형, 박재근, 백운규
STI-CMP용 세리아 슬러리 공급시스템에서 거대입자와 필터 크기가 Light Point Defects(LPDs)에 미치는 영향 (Effects of Large Particles and Filter Size in Central Chemical Supplying (CCS) System for STI-CMP on Light Point Defects (LPDs))